“首批次共有330台主設備，分(fēn)别來(lái)自全球8個(gè)國家，今天首台設備的搬入意味着項目進入緊張的裝機階段。”該公司總經理(lǐ)張亮告訴記者，一(yī)年内達成從動工到設備搬入，體(tǐ)現(xiàn)的不僅是“增芯速度”，更是“廣州速度”“大灣區速度”。“下(xià)一(yī)步将朝着明年6月(yuè)通線投産的目标，努力實現(xiàn)18個(gè)月(yuè)從項目動工到第一(yī)批産品下(xià)線。”張亮說(shuō)。

據介紹，目前近600人(rén)的增芯團隊仍然在臨建闆房(fáng)、臨時(shí)辦公室，為(wèi)實現(xiàn)“年内完工、年底設備搬入”目标奮戰。下(xià)一(yī)步，設備整體(tǐ)搬入調試、研發工藝完成、産銷通線、量産下(xià)線等節點也(yě)将陸續在2024年實現(xiàn)。此外，增芯項目二期正按計劃推進，未來(lái)增芯将迎來(lái)“邊研發、邊運營、邊建設”的忙碌景象。

随後，廣州增芯現(xiàn)場(chǎng)向中建四局、世源設計院、中電四公司頒發“項目優秀承包商(shāng)獎”。

據悉，本次搬入的首台設備是由中微半導體(tǐ)設備（上(shàng)海）有限公司制造的Primo D-RIE®刻蝕設備反應台，也(yě)是增芯12英寸智能(néng)傳感器(qì)及特色工藝晶圓生(shēng)産線項目搬入的首台生(shēng)産設備，運用了(le)中微具有自主知識産權的創新(xīn)技術，是國際主流芯片生(shēng)産線上(shàng)必不可少的設備。

“今年9月(yuè)份才剛剛舉行項目封頂儀式，三個(gè)多月(yuè)時(shí)間(jiān)便實現(xiàn)設備搬入進度上(shàng)非常快(kuài)，可謂‘增芯速度’。”中微半導體(tǐ)設備（上(shàng)海）有限公司副總裁張凱在采訪中表示，為(wèi)了(le)支持廣州增芯項目，公司調動了(le)設計、供應鏈、生(shēng)産等團隊，以最快(kuài)的速度進行了(le)交付。

據介紹，增芯項目緻力于建設12英寸先進智能(néng)傳感器(qì)及特色工藝晶圓制造産線，是廣東省、廣州市(shì)2023年重點建設項目。項目一(yī)期用地370畝，計劃投資370億元。将按照“一(yī)次規劃、分(fēn)步實施”原則，計劃用5年時(shí)間(jiān)在增城區建設兩座智能(néng)化(huà)工廠，總産能(néng)達到12萬片/月(yuè)。

文/廣州日報(bào)·新(xīn)花城記者：夏強

圖/廣州日報(bào)·新(xīn)花城記者：高鶴濤

視(shì)頻/廣州日報(bào)·新(xīn)花城記者：夏強、高鶴濤

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